半导体精密切割项目 实现半导体硅片的激光光路 大视野初步定位 小视野精确定位三路光学同焦共轴 可实现高效 高精度 兼容性强的半导体切割光学一体化模组 荣获国家级专利技术...
通过光学棱镜原理对光路进行转折，满足在狭小空间内安装使用远心平行光源 满足高精度 小型化测量需求 国家级专利产品...
02-082023
