激光成像三路共轴激光光学模组

半导体精密切割项目
实现半导体硅片的激光光路 大视野初步定位  小视野精确定位三路光学同焦共轴
可实现高效 高精度 兼容性强的半导体切割光学一体化模组
 
荣获国家级专利技术